これまで測れなかった
ものが、見えてくる
光学干渉非接触温度測定法（Optical Interference Contactless Thermometry : OICT [オーアイシーティー]）が
実現する高精度センシングソリューション
What’s New
製造現場や研究開発における
温度測定の課題、
こんなことでお困りでは
ありませんか？
処理中のワーク温度を直接測れない
熱電対で校正したが、処理中にもその温度になっているのか分からない…
ほんとに間接計測で大丈夫？
プロセス起因の影響はどの程度あるのか、分からない
プラズマによる表面温度変化、急速熱処理による過渡的温度変化、研磨や薬液による温度変化が分からない…
ほんとに間接計測で大丈夫？
ワーク毎の処理温度履歴はどうなっているのか把握できていない
歩留まり管理や、突発的な温度異常への対応の方法が分からない…
ほんとに間接計測で大丈夫？
その課題、OICTが解決します
処理中のワーク温度を非接触で計測します
レーザー光を用いて処理中のワークそのものの温度を計測するため、これまで分からなかった温度変化を直接見ることができます。
リアルタイムで計測します
各ワークの温度をリアルタイムで計測するため、トレーサビリティ向上による歩留まり向上や、突発異常へ対応することができます。
高速・高精度で計測します
素早い温度変化を伴うプロセスでも、ミリ秒の応答速度、0.1℃の温度分解能で対応できます。
– 想定される活用シーン –
新たな材料やプロセス開発で正確な温度測定や繰り返し再現性が求められるケースに
従来の接触式温度測定や放射温度計が使えない場合に、精密な温度管理が求められる時に
装置毎のウエハ温度バラツキを抑えるための温度校正標準として使いたい、という場合に
ガラス基板やプラスチック基板の温度を正確にモニタリングしたい場合に
「見える」を可能にするOICT技術
OICTの原理
被測定物の内部で多重反射したレーザー光は干渉を起こしているため、温度変化とともに反射率が振動します。
対象物の屈折率ー温度の関係（熱光学係数）をあらかじめ測定しておけば、反射率振動波形から温度を求めることができます。
T. Okada, S. Higashi, H. Kaku, H. Murakami, and S. Miyazaki, “Analysis of Transient Temperature Profile During Thermal Plasma Jet Annealing of Si Films on Quartz Substrate,” Jpn. J. Appl. Phys., 45 (2006) 4355.
T. Okada, S. Higashi, H. Kaku, N. Koba, H. Murakami, and S. Miyazaki, “Control of substrate surface temperature in millisecond annealing technique using thermal plasma jet,” Thin Solid Films, 515 (2007) 4897. A. Kameda, Y. Mizukawa, H. Hanafusa, and S. Higashi, “Precise measurement of the temperature of a silicon wafer by an optical-interference contactless thermometer during rapid plasma processing,” J. Appl. Phys., 127 (2020) 203302-1.
会社概要
| 会社名 | OICT株式会社 （オーアイシーティーカブシキガイシャ） |
|---|---|
| 設立 | 2024年7月29日 |
| 代表取締役 | 東 清一郎 |
| 事業内容 | 計測装置および半導体製造装置の製造販売 |
| 所在地 | 広島県東広島市 |
